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可用于特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化，也可用于硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理，其作用機理是以硅氮鍵與硅羥基縮合。
在半導體工業(yè)中用作光致刻蝕劑的粘結助劑。
在有機硅氮烷化學中，可以用作與氯硅烷單體進行氯交換，從而獲得聚硅氮烷。這種方法比直接通氨法在合成上有巨大優(yōu)勢。該產品可以用于礦物粉末、玻璃纖維的表面處理，如SiO2粉末的處理等，用于表面處理時，常用水、乙醇等混合作為媒介；用于添加到脫醇型RTV1硅橡膠中以提高其儲存穩(wěn)定性等性能；還可應用于特種合成中。
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